【摘要】： 介紹了我國(guó)新型顯示核心裝備發(fā)展現(xiàn)狀,為了保障新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈安全,提出核心裝備亟需國(guó)產(chǎn)化的問題。系統(tǒng)梳理了新型顯示涂膠顯影裝備的工藝流程,詳細(xì)介紹了涂膠顯影各個(gè)裝備的組成以及工作原理;分析高效清洗、高精度涂膠、高精度烘烤與冷卻、氣浮牽引等關(guān)鍵技術(shù)。